约束靶面成型
结合射流注入与磁约束，研究辐射区域的构型、密度及温度分布控制。
01 / 工作原理
从受控等离子体，到先进光源
围绕靶面控制、能量注入与辐射收集，探索面向极紫外光源的系统化技术路线。
双激光协同注入
采用连续与脉冲激光协同方案，探索密度调控与局部能量沉积的解耦控制。
目标波段辐射
围绕 13.5 纳米目标波段，开展辐射特性测量与运行条件优化。
光学收集与引出
研究收集光学、收集镜保护与工质回收，推进后端光学接口的系统集成。
以上为研发路线概述，具体性能与工程实现以实验验证为准。
了解技术与工程 →02 / 合作伙伴
合作伙伴
与科研机构及产业伙伴协同，推进光源系统的研发与工程验证。
长春光机所 中国科学院
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，国内光学精密仪器领域科研机构。
星环聚能
聚焦球形托卡马克聚变技术研发的工程团队。
03 / 团队
系统工程能力
托卡光源围绕激光、光学与等离子体物理开展跨学科研发，连接基础研究与工程实现。
团队能力
01
精密光学系统工程
极紫外高转化率集光系统工程 · 极紫外反射式照明系统设计 · 光刻光源质量测量与评价。 依托国内极紫外多层膜与超平滑反射镜设计–加工–检测产业通路， 覆盖照明 / 投影光学设计装调到光刻工艺应用的全链条。
02
聚变工程与等离子体物理
超导托卡马克总体设计与建造一线背景，磁体 / 偏滤器 / 真空系统全栈工程交付能力。 托卡马克高 Z 杂质辐射诊断与极紫外 / 真空紫外光谱分析， 偏滤器辐射调控与高 Z 元素芯部输运建模。
核心技术团队按光刻行业惯例以职能门类披露，由具备上述两项门类能力的发起团队牵头推进。
欢迎相关专业人才和产业伙伴交流。
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