TOKLIGHT / ADVANCED LIGHT SOURCE

从终极能源,
抵达先进之光

托卡光源是终极能源技术驱动的先进光源平台,当前聚焦 EUV 光源及照明子系统。 公司以托卡马克等离子体技术为基础,开展光源系统、关键部件及装备接口的工程工作。

托卡马克光源装置概念渲染图

01 / HOW IT WORKS

从受控等离子体,到先进光源

围绕靶面控制、能量注入与辐射收集,探索面向 EUV 光源的系统化技术路线。

01 / TARGET

约束靶面成型

结合射流注入与磁约束,研究辐射区域的构型、密度及温度分布控制。

02 / ENERGY

双激光协同注入

采用连续与脉冲激光协同方案,探索密度调控与局部能量沉积的解耦控制。

03 / EMISSION

目标波段辐射

围绕 13.5 nm 目标波段,开展辐射特性测量与运行条件优化。

04 / COLLECTION

光学收集与引出

研究收集光学、收集镜保护与工质回收,推进后端光学接口的系统集成。

以上为研发路线概述,具体性能与工程实现以实验验证为准。

了解技术与工程 →

02 / PARTNERS

合作伙伴

与科研机构及产业伙伴协同,推进光源系统的研发与工程验证。

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

长春光机所 CIOMP, CAS

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,国内光学精密仪器领域科研机构。

星环聚能 STARTORUS FUSION

星环聚能 STARTORUS FUSION

聚焦球形托卡马克聚变技术研发的工程团队。

03 / PEOPLE & CONTACT

与我们一起,
推进先进光源的下一步

托卡光源围绕激光、光学与等离子体物理开展跨学科研发, 连接基础研究与工程实现。欢迎相关专业人才和产业伙伴交流。

团队能力 · CAPABILITIES

01

精密光学系统工程

PRECISION OPTICAL ENGINEERING

EUV 高转化率集光系统工程 · EUV 反射式照明系统设计 · 光刻光源质量测量与评价。 依托国内 EUV 多层膜与超平滑反射镜设计–加工–检测产业通路, 覆盖照明 / 投影光学设计装调到光刻工艺应用的全链条。

Collector · 多层膜 · 照明系统 · 光源计量

02

聚变工程与等离子体物理

FUSION ENGINEERING & PLASMA PHYSICS

超导托卡马克总体设计与建造一线背景,磁体 / 偏滤器 / 真空系统全栈工程交付能力。 托卡马克高 Z 杂质辐射诊断与 EUV / VUV 光谱分析, 偏滤器辐射调控与高 Z 元素芯部输运建模。

超导磁体 · 偏滤器 · 真空系统 · EUV 光谱

核心技术团队按光刻行业惯例以职能门类披露,由具备上述两项门类能力的发起团队牵头推进。

CAREERS

人才交流

关注等离子体、激光光学与装备工程方向,提供有竞争力的薪酬福利,点击查看。

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PARTNERSHIPS

产业合作

面向光学、真空、控制及装备制造伙伴,交流技术协同与工程合作机会。

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